Технологии производства электровакуумных приборов

При помощи микроскопа (рис. 2, г) производится измерение ширины канавок, как минимум в трех местах. Далее происходит усреднение полученных значений и сравнение их с эталоном, значение которого является разным для различных моделей катодов. Если в результате измерений видно сильное отклонение от эталонного значения, то катод повторно подвергается дефектовке. На рисунке 3 представлена структура катода, наблюдаемая под микроскопом.Одной из последних операций является контроль толщины нанесенного покрытия при помощи специального аппарата (рис. 2, д). На катод наносится метка, затем катод помещается на специальную площадку таким образом, чтобы лазерный луч, исходящий от прибора, совпадал с меткой. Далее при помощи микроскопа фиксируется значение толщины в условных единицах, которое в последующем переводится в размерную величину при помощи специальной переводной таблицы. Значение толщины также сравнивается сэталонной величиной. Финальный этап заключается в заключительной дефектовке поверхности при помощи микроскопа (рис. 2, е). Для примера фотография поверхности катода, полученная в процессе финальной дефектовки под микроскопом представлена на рисунке 3. Рисунок 3 – Поверхность катода под микроскопомДалее разберем возможные подходы к изготовлению газопоглотителей. Существует два вида газопоглотителей – распыляющиеся и нераспыляющиеся. Основной составляющей частью распыляющихся газопоглотителей является барий. Такие газопоглотители изготавливаются из спрессованных таблеток мелкодисперсного порошка.Нераспыляющиеся газопоглотители, обычно, являются составной частью других конструкций ЭВП. В 1959 году основано НПП «Контакт», специализирующееся на выпуске мощных вакуумных электронных приборов для радиовещания, телевидения, дальней космической и спутниковой связи, радиолокации, ускорительной техники. С начала функционирования на НПП производились два типа ламп МГЛ — ГИ-19Б и ГУ-23А,Б. На данный момент завод продолжает выпуск вакуумных приборов, среди которых – выключатели и контакторы. В качестве примера приведем основные технические сведения о новых генераторных лапах, выпускаемых НПП «Контакт» (рисунок 4). Рисунок 4 – Спецификация генераторных ламп выпускаемых НПП «Контакт»Согласно представленной документации можно видеть область назначения ЭВП и технологии, применяемые для изготовления его основных узлов. Для охлаждения анода применяются технологии водяного охлаждения, воздушного охлаждения и испарительного охлаждения. Последний метод охлаждения заключается в том, что температура электрода понижается путем испарения воды (метод конденсации). В качестве внешнего корпуса применяется металлостеклянное оформление и металлокерамическое оформление.Наибольший интерес представляют технологии изготовления катода. Все катоды являются прямонакальными термокатодами. Далее значатся элементы, которые участвуют в изготовлении катода. Торированный катод – катод обогащенный атомами тория (тарированный катод означает откалиброванный).При нормальных рабочих температурах вольфрамового катода торированный вольфрам дает такую же эмиссию, как и чистый вольфрам, так как в его поверхности атомов тория нет.Для получения активированного катода с высокой эмиссионной способностью торированный вольфрам подвергается термической обработке в следующем порядке: сначала проволоку нагревают в течение 0,5–1 мин. до температуры 2700–2800° К; при такой температуре окись тория начинает разлагаться, причем восстанавливающийся из окиси металлический торий диффундирует на поверхность вольфрамовой проволоки.Обработанный таким образом катод обладает гораздо большей эмиссией, чем чисто вольфрамовый. При нормальных рабочих температурах (1800–1900° К) тарированный катод имеет эффективность 20–50 мА/Вт при сроке службы в 1000 часов и выше. Такая сравнительно низкая рабочая температура выбирается потому, что при более высоких температурах торий слишком быстро испаряется с поверхности и эмиссия катода падает, т. е. катод имеет слишком короткий срок службы.Технология получения оксидных катодов была подробно рассмотрена выше. В качестве примера на рисунке 5 представлена генераторная лампа ГУ-23А из перечня рисунка 4. Согласно данным официального сайта производителя стоимость этого ЭВП составляет порядка 77000 рублей. Рисунок 5 – Генераторная лампа ГУ-23АСписок используемой литературыА.Е. Иориш, Я.А. Кацман, С.В. Птицын, Основы технологии производства электровакуумных приборов. М.: Госэнергоиздат, 1961.М.В. Гомоюнова, Л.Н. Добрецов, Эмиссионная электроника. М.: Наука, 1968.Интернет ресурс: http://chastnye-uroki-fiziki.ru/torirovannii_katod.html, 14.10.2019.Интернет ресурс: http://www.kontakt-saratov.ru/, 14.10.2019.